Secondary Return Air scheme For Air Conditioning System

Lub micro-electronic Rhiav nrog cov chav me me huv si thiab txwv lub vojvoog ntawm cov pa xa rov qab siv los siv cov txheej txheem rov qab los ntawm cov cua txias. Cov txheej txheem no kuj yog siv nyob rau hauvchav huvnyob rau hauv lwm yam lag luam xws li kws tshuaj thiab kev kho mob. Vim hais tias qhov cua ntim kom tau raws li qhov yuav tsum tau ua ntawm chav tsev kub qhov av noo feem ntau nyob deb dua li qhov cua ntim qhov xav tau kom ncav cuag qhov kev huv huv, yog li ntawd, qhov sib txawv ntawm qhov ntsuas cua thiab cov cua rov qab yog me me. Yog tias siv cov phiaj xwm rov qab los, qhov kub ntawm qhov sib txawv ntawm cov khoom cua hauv xeev taw tes thiab cov dej lwg ntawm lub tshuab cua txias yog qhov loj, cov cua sov thib ob yuav tsum tau ua, ua rau cov cua txias offset hauv cov txheej txheem kev kho cua thiab siv zog ntau dua. . Yog tias siv cov txheej txheem xa rov qab thib ob, cov cua xa rov qab tuaj yeem siv los hloov cov cua sov thib ob ntawm cov txheej txheem rov qab huab cua. Txawm hais tias qhov kev hloov pauv ntawm thawj thiab theem nrab rov qab huab cua piv yog me ntsis rhiab dua qhov kev hloov pauv ntawm cov cua sov thib ob, cov txheej txheem rov qab cua thib ob tau raug lees paub tias yog lub tshuab cua txias txuag hluav taws xob hauv cov chaw ua haujlwm me me thiab nruab nrab ntawm cov tshuab hluav taws xob huv. .

Ua ib qho ISO chav kawm 6 microelectronics huv rhiav ua piv txwv, qhov chaw ua haujlwm huv ntawm 1 000 m2, lub qab nthab qhov siab ntawm 3 m. Sab hauv tsim tsis yog kub tn = (23 ± 1) ℃, txheeb ze av noo φn = 50% ± 5%; Cov qauv tsim cua ntim yog 171,000 m3 / h, txog 57 h-1 huab cua pauv lub sijhawm, thiab cov huab cua ntshiab yog 25 500 m3 / h (ntawm cov txheej txheem cua ntim yog 21 000 m3 / h, thiab qhov seem yog positive pressure to air volume). Qhov ntsuas kub zoo nyob rau hauv chav ua haujlwm huv yog 258 kW (258 W / m2), qhov ntsuas kub / av noo ntawm lub tshuab cua txias yog ε = 35 000 kJ / kg, thiab qhov kub sib txawv ntawm chav cua rov qab yog 4.5 ℃. Lub sijhawm no, thawj qhov rov qab huab cua ntim ntawm
Qhov no yog tam sim no feem ntau siv daim ntawv purification cua txias system nyob rau hauv lub microelectronics kev lag luam huv chav tsev, hom ntawm no system yuav muab faib ua peb hom: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU + DC (Dry coil) + FFU. Txhua tus muaj nws qhov zoo thiab qhov tsis zoo thiab qhov chaw tsim nyog, cov nyhuv txuag hluav taws xob feem ntau yog nyob ntawm qhov ua tau zoo ntawm cov lim thiab kiv cua thiab lwm yam khoom siv.

1) AHU + FFU system.

Hom kab ke no yog siv hauv kev lag luam microelectronics li "txoj kev ntawm kev sib cais cua txias thiab purification theem". Tej zaum yuav muaj ob qhov xwm txheej: ib qho yog tias lub tshuab cua txias tsuas yog cuam tshuam nrog huab cua tshiab, thiab cov cua tshiab kho tau tag nrho cov cua sov thiab cov av noo ntawm chav huv huv thiab ua raws li cov cua ntxiv kom sib npaug ntawm cov pa tawm thiab cov pa tawm zoo. ntawm chav huv, qhov system no tseem hu ua MAU + FFU system; Lwm qhov yog tias cov huab cua ntshiab ib leeg tsis txaus los ua kom tau raws li qhov xav tau ntawm qhov txias thiab cua sov ntawm chav huv, lossis vim tias huab cua ntshiab tau ua tiav los ntawm lub xeev sab nraum zoov mus rau qhov dej lwg qhov tshwj xeeb enthalpy sib txawv ntawm lub tshuab xav tau loj heev. , thiab ib feem ntawm cov cua hauv tsev (sib npaug rau cov cua rov qab) rov qab mus rau chav kho cua txias, sib xyaw nrog cov cua tshiab rau kev kho cua sov thiab av noo, thiab tom qab ntawd xa mus rau lub tshuab cua txias plenum. Sib tov nrog cov seem huv si rov qab huab cua (sib npaug rau cov huab cua thib ob), nws nkag mus rau FFU chav tsev thiab xa mus rau hauv chav huv. Los ntawm 1992 txog 1994, tus kws sau ntawv thib ob ntawm daim ntawv no tau koom tes nrog lub tuam txhab Singaporean thiab coj ntau tshaj 10 tus tub ntxhais kawm tiav los koom nrog kev tsim qauv ntawm US-Hong Kong kev sib koom ua lag luam SAE Electronics Factory, uas tau txais qhov kawg ntawm kev ua kom huv huv cua txias thiab qhov cua tshuab. Qhov project muaj ISO Class 5 chav huv si ntawm kwv yees li 6,000 m2 (1,500 m2 uas tau cog lus los ntawm Nyiv Lub Chaw Haujlwm Huab Cua). Cov chav cua txias yog teem rau tib lub sijhawm rau chav huv si raws phab ntsa sab nraud, thiab tsuas yog nyob ib sab ntawm txoj kev hauv tsev. Cov huab cua ntshiab, cov pa tawm thiab cov pa xa rov qab yog luv luv thiab npaj tau zoo.

2) MAU+AHU+FFU scheme.

Cov tshuaj no feem ntau pom muaj nyob rau hauv microelectronics nroj tsuag nrog ntau yam kub thiab av noo yuav tsum tau thiab loj sib txawv nyob rau hauv tshav kub thiab av noo load, thiab huv si theem kuj siab. Nyob rau hauv lub caij ntuj sov, huab cua ntshiab yog txias thiab dehumidified mus rau ib tug ruaj parameter point. Nws yog feem ntau tsim nyog los kho cov huab cua ntshiab mus rau qhov chaw sib tshuam ntawm isometric enthalpy kab thiab 95% txheeb ze av noo kab ntawm chav huv huv nrog cov neeg sawv cev kub thiab av noo los yog chav huv nrog cov huab cua ntshiab loj tshaj plaws. Cov huab cua ntim ntawm MAU tau txiav txim siab raws li qhov xav tau ntawm txhua chav huv huv kom rov ua kom cov huab cua, thiab muab faib rau AHU ntawm txhua chav huv nrog cov kav dej raws li qhov xav tau ntawm huab cua ntshiab, thiab sib xyaw nrog qee qhov cua hauv tsev rov qab los rau cua sov. thiab kho av noo. Chav tsev no dais tag nrho cov cua sov thiab cov av noo thiab ib feem ntawm cov rheumatism tshiab ntawm chav huv nws ua haujlwm. Cov huab cua kho los ntawm txhua AHU raug xa mus rau cov khoom siv cua plenum hauv txhua chav huv, thiab tom qab sib xyaw nrog cov cua hauv tsev, nws raug xa mus rau hauv chav tsev los ntawm FFU chav tsev.

Lub ntsiab kom zoo dua ntawm MAU + AHU + FFU tov yog tias ntxiv rau kev ua kom huv si thiab zoo siab, nws kuj ua kom qhov sib txawv ntawm qhov kub thiab txias thiab cov av noo uas yuav tsum tau ua rau kev tsim ntawm txhua chav huv. Txawm li cas los xij, feem ntau vim yog tus naj npawb ntawm AHU teeb tsa, nyob hauv chav tsev yog qhov loj, chav huv huv huab cua ntshiab, rov qab huab cua, cua xa cov raj xa hluav taws xob crisscross, nyob hauv qhov chaw loj, qhov teeb meem ntau dua, kev saib xyuas thiab kev tswj xyuas nyuaj dua. thiab complex, yog li ntawd, tsis muaj tshwj xeeb uas yuav tsum tau kom deb li deb li sai tau kom tsis txhob siv.