Lub hom phiaj tus nqi ntawm cov av noo nyob rau hauv ib lub semiconductor (FAB) huv chav

Lub hom phiaj tus nqi ntawm cov av noo nyob rau hauv ib lub semiconductor (FAB) huv chav tsev yog kwv yees li 30 mus rau 50%, cia ib tug nqaim margin ntawm kev ua yuam kev ntawm ± 1%, xws li nyob rau hauv lub lithography cheeb tsam - los yog txawm tsawg dua nyob rau hauv lub deb ultraviolet ua (DUV) cheeb tsam - thaum lwm qhov nws tuaj yeem so mus rau ± 5%.
Vim tias cov av noo txheeb ze muaj ntau yam uas tuaj yeem txo qhov kev ua tau zoo ntawm cov chav huv huv, suav nrog:
1. Cov kab mob loj hlob;
2. Chav ntsuas kub kev nplij siab rau cov neeg ua haujlwm;
3. Electrostatic nqi tshwm;
4. Hlau corrosion;
5. Dej vapor condensation;
6. Degradation ntawm lithography;
7. Kev nqus dej.

Cov kab mob thiab lwm yam kab mob lom (pwm, kab mob, fungi, mites) tuaj yeem loj hlob hauv ib puag ncig nrog cov av noo ntawm ntau tshaj 60%. Qee cov kab mob hauv zej zog tuaj yeem loj hlob ntawm cov av noo ntawm ntau tshaj 30%. Lub tuam txhab ntseeg hais tias cov av noo yuav tsum tau tswj nyob rau hauv thaj tsam ntawm 40% mus rau 60%, uas tuaj yeem txo qhov cuam tshuam ntawm cov kab mob thiab kab mob ua pa.

Tus txheeb ze av noo nyob rau hauv thaj tsam ntawm 40% mus rau 60% kuj yog ib qho nruab nrab rau tib neeg kev nplij siab. Cov av noo ntau dhau tuaj yeem ua rau tib neeg xav tias khaus, thaum cov av noo qis dua 30% tuaj yeem ua rau tib neeg xav tias qhuav, tawv nqaij tawv, ua pa tsis xis nyob thiab tsis zoo siab.

Cov av noo siab tiag tiag txo cov tsub zuj zuj ntawm electrostatic tsub rau ntawm chav huv huv - qhov xav tau. Tsawg cov av noo yog qhov zoo tagnrho rau kev sib sau ua ke thiab ua rau muaj kev puas tsuaj ntawm electrostatic paug. Thaum tus txheeb ze av noo tshaj 50%, cov nqi hluav taws xob electrostatic pib sai sai, tab sis thaum cov txheeb ze av noo tsawg dua 30%, lawv tuaj yeem nyob ntev rau ntawm lub rwb thaiv tsev lossis qhov chaw tsis muaj av.

Tus txheeb ze cov av noo ntawm 35% thiab 40% tuaj yeem siv los ua kev sib haum xeeb txaus siab, thiab cov chav huv semiconductor feem ntau siv cov kev tswj hwm ntxiv los txwv qhov sib xyaw ntawm cov nqi hluav taws xob.

Qhov ceev ntawm ntau cov tshuaj tiv thaiv, nrog rau cov txheej txheem corrosion, yuav nce nrog qhov nce ntawm cov txheeb ze av noo. Txhua qhov chaw raug huab cua nyob ib ncig ntawm chav huv yog ceev.